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J-GLOBAL ID：200903076038021267

収差補正装置を備えた荷電粒子線装置

Inventor： 松谷 幸 ,  数森 啓悦
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001354335
Publication number (International publication number)：2003157785
Application date： Nov. 20, 2001
Publication date： May. 30, 2003
Summary：

【要約】【課題】 収差補正を行った状態で、ビームの開き角の制御を行うことができる収差補正装置を備えた粒子線装置を実現する。【解決手段】 収差補正装置は、4段の静電型4極子1,2,3,4と、中央の2段の静電型4極子2,3の電位分布と相似な磁位分布を重畳させる2段の磁場型4極子5,6と、4段の静電型4極子1,2,3,4の電位分布に8極子電位を重畳させる4段の静電型8極子11,12,13,14とより構成されている。収差補正装置Cの下段には対物レンズ7が配置され、またその上段には対物絞り8が設けられている。対物絞り8の後段には、試料面20に入射するプローブの開き角αfを制御するための開き角制御レンズ23が配置されている。このレンズ23は、操作表示部9で加速電圧Va、または作動距離WD、またはプローブ電流Vaを変更した場合、より安定な収差補正および最適開き角αfを設定する。

Claim (excerpt)：

荷電粒子線の光路中に配置され、4段の静電型4極子と4段の静電型4極子に電圧を供給する電源と、中央の2段の静電型4極子の電位分布と相似な磁位分布を重畳させる2段の磁場型4極子と2段の磁場型4極子を励磁する電源とによりなり、色収差又は球面収差の少なくとも1つを補正する収差補正装置と、プローブ電流を調整するための集束レンズと集束レンズの電源と、集束レンズと収差補正装置との間に配置され、開き角制御レンズと開き角制御レンズの電源とによりなり、試料に入射するプローブの開き角を制御するための開き角制御装置と、対物レンズと対物レンズの電源と、光路の一部に設けられた対物絞りと、加速電圧や作動距離やプローブ電流を変更する操作表示部と、該操作表示部の操作又は設定に基づいて前記4段の静電型4極子に電圧を供給する電源と2段の磁場型4極子を励磁する電源と集束レンズの電源と開き角制御レンズの電源と対物レンズの電源とを制御する制御部と、を有し、加速電圧、又は作動距離、又はプローブ電流の少なくとも1つを変更した時、試料に入射するプローブの径を最小にするように、プローブの開き角を制御することを特徴とする収差補正装置を備えた荷電粒子線装置。

IPC (3)：

H01J 37/10 ,  H01J 37/153 ,  H01J 37/28

FI (3)：

H01J 37/10 ,  H01J 37/153 B ,  H01J 37/28 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-289035
  
• 特開平1-236563
  
• 特開平1-159943
  
• 特開平3-134944