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J-GLOBAL ID：200903076059137796

電子線マイクロアナライザ

Inventor： 森久 祐司
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 竹本 松司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995308777
Publication number (International publication number)：1997147782
Application date： Nov. 28, 1995
Publication date： Jun. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】 二次電子の回収効率の高い二次電子検出器を備えた電子線マイクロアナライザを提供する。【解決手段】 試料Sに電子線を照射することによって試料分析を行う電子線マイクロアナライザにおいて、試料Sから放出される二次電子42を検出する二次電子検出器3と、入射電子線41を挟んで二次電子検出器3と反対方向に負電圧にバイアスされたバイアスケーブル21とを備える。バイアスケーブル21を入射電子線42を挟んで二次電子検出器3と反対方向に配置することによって、試料Sから発生した二次電子42は形成した電場を通り、試料Sから二次電子検出器3と反対側に放出された二次電子42についてもバイアスケーブル21から二次電子検出器3に向かう正電場内に捕らえる。これによって、試料Sから発生した二次電子42に対する二次電子検出器3の回収効率を高める。

Claim (excerpt)：

試料に電子線を照射することによって試料分析を行う電子線マイクロアナライザにおいて、試料から放出される二次電子を検出する二次電子検出器と、入射電子線を挟んで二次電子検出器と反対方向に負電圧にバイアスされたバイアス部とを備えたことを特徴とする電子線マイクロアナライザ。

IPC (2)：

H01J 37/252 ,  G01N 23/225

FI (2)：

H01J 37/252 A ,  G01N 23/225