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J-GLOBAL ID：200903076082854390

物品の面をスタンピングするための装置および方法

Inventor： ジョージ・エヌ・マラカス ,  ローレンス・エヌ・ドウォルスキー ,  キャスリーン・トービン
Applicant, Patent owner： モトローラ・インコーポレイテッド
Agent (1)： 池内 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997048498
Publication number (International publication number)：1997240125
Application date： Feb. 17, 1997
Publication date： Sep. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】 容易に、経済的にかつ再現可能に大面積の装置を整列しかつプリントする、高いスループットを提供するスタンピング装置および方法を実現する。【解決手段】 物品102の面101をスタンピングする方法および装置が提供され、i)圧力制御チェンバ112内で支持構造104上に物品を配置し、ii)スタンピング面110を自己アセンブル単分子層形成分子種を含む溶液でぬらし、iii)柔軟性あるスタンプ106上のアライメントパターンを物品の面上のアライメントパターン124と整列させ、iv)柔軟性あるスタンプにわたる差分圧力を変えて物品の面とぬれたスタンピング面を制御可能に接触させ、該接触は柔軟性あるスタンプの中心で始まりかつ制御された方法で外側に進行させ、v)物品の面からスタンピング面を除去し、所定のパターンを有する自己アセンブル単分子層134を物品の面上に形成する。

Claim (excerpt)：

物品(102,302)の面(101,301)をスタンピングするための装置(100,200,300)であって、面(105)を有する支持構造(104,304)、前記支持構造(104,304)の前記面(105)の上部に配置された第1の圧力制御チェンバ(112,312)、外側面(108,308)を有しかつ所定のパターンを備えたスタンピング面(110,310)を有する柔軟性あるスタンプ(106,206,306)であって、該柔軟性あるスタンプ(106,206,306)は前記支持構造(104,304)の上部に配置され、前記スタンピング面(110,310)が前記支持構造(104,304)の前記面(105)に対向し、前記スタンピング面(110,310)は前記第1の圧力制御チェンバ(112,312)内に配置され、前記支持構造(104,304)および前記第1の圧力制御チェンバ(112,312)は前記物品(102,302)が前記支持構造(104,304)の前記面(105)上にかつ前記第1の圧力制御チェンバ(112,312)内に位置しかつ前記物品(102,302)の前記面(101,301)が前記スタンピング面(110,310)に対向するように構成されているもの、前記第1の圧力制御チェンバ(112,312)の外側に配置され前記スタンピング面(110,310)を自己アセンブル単分子層形成分子種を有する溶液によってぬらすための手段、そして前記スタンピング面(110,310)を前記物品(102,302)の前記面(101,301)と制御可能に接触させ前記スタンピング面(110,310)の前記所定のパターンが前記物品(102,302)の前記面(101,301)上にスタンピングされるようにする手段、を具備することを特徴とする物品(102,302)の面(101,301)をスタンピングするための装置(100,200,300)。

IPC (2)：

B41K 3/02 ,  H01L 21/027

FI (2)：

B41K 3/02 ,  H01L 21/30 508 A