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J-GLOBAL ID:200903076086121931

水酸化テトラメチルアンモニウムの分析方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996200440
Publication number (International publication number):1998038873
Application date: Jul. 30, 1996
Publication date: Feb. 13, 1998
Summary:
【要約】【課題】水酸化テトラメチルアンモニウムおよびその溶液中の難揮発性不純物を高感度に分析する方法の開発に関すること。【解決手段】水酸化テトラメチルアンモニウムを加熱分解して分解物を揮散させた後、残渣を誘導結合プラズマ質量分析装置等により分析することを特徴とする水酸化テトラメチルアンモニウムまたはその溶液に含まれる難揮発性不純物の分析方法。
Claim (excerpt):
水酸化テトラメチルアンモニウムを加熱分解して分解物を揮散させた後、残渣を分析することを特徴とする水酸化テトラメチルアンモニウムまたはその溶液に含まれる難揮発性不純物の分析方法。
FI (2):
G01N 31/00 V ,  G01N 31/00 F

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