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J-GLOBAL ID：200903076107517440

動圧流体軸受および該軸受を用いたポリゴンスキヤナ

Inventor： 橋本 芳男 ,  鈴木 光夫 ,  伊丹 幸男
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 有我 軍一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991184965
Publication number (International publication number)：1993026229
Application date： Jul. 25, 1991
Publication date： Feb. 02, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、動圧流体軸受および該軸受を用いたポリゴンスキャナに関し、動圧発生用の溝を有する軸受部材の腐食を防止することにより、信頼性の高い動圧流体軸受およびポリゴンスキャナを提供することを目的とする。【構成】 動圧発生用のヘリングボーン溝14a、14bを有するラジアル軸受面15、16が形成された固定軸13と、ラジアル軸受面15、16に対向するラジアル軸受面18が形成された回転軸17とを備えた動圧流体軸受において、前記ラジアル軸受面15、16がシリコンを注入した硬化膜層によって形成されている。

Claim (excerpt)：

動圧発生用の溝を有する第1の軸受面が形成された一方の軸受部材と、該第1の軸受面に対向する第2の軸受面が形成された他方の軸受部材と、を備えた動圧流体軸受において、前記第1の軸受面が、シリコンを注入した硬化膜層によって形成されていることを特徴とする動圧流体軸受。

IPC (6)：

F16C 17/02 ,  C23C 10/08 ,  C23C 26/00 ,  F16C 17/04 ,  F16C 17/10 ,  G02B 26/10 102