Pat
J-GLOBAL ID：200903076113183286
露光システム
Inventor：
,
,
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992275627
Publication number (International publication number)：1994124864
Application date： Oct. 14, 1992
Publication date： May. 06, 1994
Summary：
【要約】【目的】 露光装置を小型化するとともに、複数の露光装置間でマスクを共有するようにする。【構成】 マスクライブラリ6、マスク搬送装置7、マスク欠陥検査装置9を露光装置10から独立した搬送車内に設け、複数の露光装置の夫々に対して位置決めして必要なマスクを受け渡す。マスクの受け渡しの直前にマスクの欠陥を検査し、受け渡しの際には露光装置の受け渡し装置14の振動状態を検出して搬送車をこの振動に同期して振動させる。
Claim (excerpt)：
転写すべきパターンが形成されたマスクのパターンを被露光基板に対して露光する複数の露光装置と;前記複数の露光装置の夫々に設けられた前記マスクの受け渡し手段の振動を検出する振動検出手段と;前記マスクの欠陥を検査する欠陥検査手段と複数の前記マスクとを搭載して前記複数の露光装置の夫々に対して所定の位置に移動可能であるとともに、前記受け渡し手段に対して前記マスクを受け渡すマスク搬送装置とを備え、前記マスク搬送装置が、前記受け渡しの直前に前記欠陥検査手段によって前記マスクの欠陥を検査し、前記受け渡しの際に前記露光装置の振動に同期して振動することを特徴とする露光システム。
IPC (4)：
H01L 21/027
, G03F 1/08
, H01L 21/66
, H01L 21/68
Cited by examiner (6)
Show all
Return to Previous Page
