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J-GLOBAL ID：200903076140677231
赤外線検出器
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
宮田 金雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996047403
Publication number (International publication number)：1997243449
Application date： Mar. 05, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：
【要約】【課題】 受光部に真空気密を要するボロメータ方式、サーモパイル方式、および焦電方式の赤外線検出器を、小型、低コストで提供する。【解決手段】 シリコン基板1の上に形成した受光部2の前面に、赤外線の受光窓4を空隙3を有して配置し、受光窓4は受光部2を囲む範囲の接着面で、基板1に気密に接着することにより固定し、かつ空隙3の内部を真空にする。
Claim (excerpt)：
シリコン基板上に受光部を形成したボロメータ方式、サーモパイル方式、および焦電方式の赤外線検出器において、赤外線受光窓を、上記受光部の前面に空隙を有して配置し、上記受光窓は、上記受光部を完全に囲む接着面で、上記受光部を形成した基板に気密に接着することにより固定し、かつ上記空隙を真空とすることを特徴とする赤外線検出器。
IPC (2)：
FI (3)：
G01J 1/02 B
, G01J 1/02 C
, H01L 27/14 K
