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J-GLOBAL ID：200903076145770213

機能性多層膜及びその製造方法

Inventor： 染野 義博
Applicant, Patent owner： アルプス電気株式会社
Agent (1)： 村田 幹雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002279109
Publication number (International publication number)：2004117664
Application date： Sep. 25, 2002
Publication date： Apr. 15, 2004
Summary：

【課題】膜厚方向及び膜面方向の微小金属体の配列に規則性を持たせることが可能な機能性多層膜及びその製造方法を提供する。【解決手段】多数の微小金属体4を誘電体からなるマトリックス1に固定してなる機能性膜であって、上記マトリックス1は所定の厚さに成膜される誘電体薄膜2と、上記多数の微小金属体4を任意に配列した上記誘電体薄膜2の膜面3上に形成される金属パターン5からなる金属配列薄膜6を積層してなり、上記微小金属体4は膜面方向に対して任意の形状を有する島状の薄膜である。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

多数の微小金属体を誘電体からなるマトリックスに固定してなる機能性膜であって、 上記マトリックスは所定の厚さに成膜される誘電体薄膜と、上記多数の微小金属体を任意に配列した上記誘電体薄膜の膜面上に形成される金属パターンからなる金属配列薄膜を積層してなることを特徴とする機能性多層膜。

IPC (2)：

G02F1/355 ,  G02F1/01

FI (2)：

G02F1/355 501 ,  G02F1/01 F

F-Term (11)：

2H079AA08 ,  2H079CA05 ,  2H079DA01 ,  2H079DA02 ,  2H079JA03 ,  2K002AB09 ,  2K002BA01 ,  2K002CA02 ,  2K002FA16 ,  2K002FA17 ,  2K002FA18