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J-GLOBAL ID：200903076210697839

X線検査装置及び方法

Inventor： 市原 勝 ,  佐藤 健一 ,  吉野 信治 ,  窪田 晴子
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001099332
Publication number (International publication number)：2002296204
Application date： Mar. 30, 2001
Publication date： Oct. 09, 2002
Summary：

【要約】【課題】 垂直撮影と斜め撮影とを併用する場合において、検査時間の増加を低減可能なX線検査装置及び方法を提供する。【解決手段】 回路形成体に対する直交方向に沿って接合部に対してX線を照射する一台の直交方向用X線発生器を備えるとともに、予め固定された傾斜方向に沿って接合部へX線を照射する傾斜方向用X線発生器を備えたことから、X線発生器を傾斜させるに要する時間を省略でき、直交方向用X線発生器と傾斜方向用X線発生器と間でのX線照射の切り替えを、従来に比べて短時間で行なうことができる。よって、回路形成体における接合部の検査を短時間で行うことができる。

Claim (excerpt)：

回路形成体(250)に装着された部品(261)と上記回路形成体との接合部(270)にX線を照射して検出された透過X線にて得られるX線透視画像に基づいて上記接合部を検査するX線検査装置であって、上記回路形成体に対する直交方向(251)に沿って上記接合部に対してX線を照射する一台の直交方向用X線発生器(511)及び、上記直交方向に交差する傾斜角度(θ)が固定された傾斜方向(252)に沿って上記接合部に対してX線を照射する傾斜方向用X線発生器(512)を備えたX線照射装置(510)と、上記X線照射装置に対して上記回路形成体を間に挟み、上記直交方向に平行な上記直交方向用X線発生器の中心軸(513)上に固定して配置され、上記接合部を透過した透過X線を検出するX線検出器(120)と、上記回路形成体を保持しかつ上記直交方向に直交する移動方向(533)に移動可能であり、上記傾斜方向用X線発生器にて撮影を行なうとき、上記直交方向用X線発生器からX線照射された検査接合部に上記傾斜方向用X線発生器のX線が照射される傾斜照射位置(532)へ上記回路形成体を位置決めする位置決め装置(530)と、を備えたことを特徴とするX線検査装置。

IPC (2)：

G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512

FI (2)：

G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512 B

F-Term (24)：

2G001AA01 ,  2G001AA10 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA09 ,  2G001GA13 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001JA01 ,  2G001JA09 ,  2G001JA11 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA01 ,  2G001PA02 ,  2G001PA11 ,  2G001PA14 ,  5E319AA03 ,  5E319AA07 ,  5E319AB05 ,  5E319CD51 ,  5E319GG15