支持プレート

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004332390
Publication number (International publication number)：2005333100
Application date： Nov. 16, 2004
Publication date： Dec. 02, 2005
Summary：

【解決手段】ポリカーボネート製の支持プレート5 (基本肉厚:1mm、そのバラツキ:1.8μm以内、曲げ弾性率:9MPa)を若干曲げ、ウェハー3 と粘着層4 の間の空気層を追い出しながらウェハー3 をその端から粘着層4 に貼着させ、ウェハー3 と粘着層4 の間に気泡が残らないようにする。こうして、ウェハー3 をその研磨しようとする面を上にして支持プレート5 に貼着する。このウェハー3 -粘着層4 -支持プレート5 の貼着物を研磨用砥石15の研磨面に設置し、ウェハー3 を研磨する。【効果】支持プレートは合成樹脂製であるので、材料費を低減することができる上に、ガラス製のものに比べ支持プレートの軽量化を達成でき、これにより支持プレートを大きくすることができる。重量増加が原因である搬送時またはハンドリング時の落下による破損を防止することができる。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

支持された物体が自重により変形または破壊するのを防ぐことができる程度の剛性を有する合成樹脂製の支持プレートであって、0.5〜3mmの基本肉厚を有し、かつ基本肉厚のバラツキが2μm以内である、支持プレート。

IPC (2)：

H01L21/68 , H01L21/304

FI (2)：

H01L21/68 N , H01L21/304 622J

F-Term (5)：

5F031CA02 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031MA22 , 5F031PA30

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

保持プレート及び保持プレートの使用方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-258934 Applicant：株式会社ディスコ

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