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J-GLOBAL ID:200903076246460100

ビアフイル形成方法およびビアフイル形成装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 内原 晋
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991119675
Publication number (International publication number):1993069394
Application date: May. 24, 1991
Publication date: Mar. 23, 1993
Summary:
【要約】【目的】セラミックグリーンシートのビアホール形成とビアフィル工程において、プレス加工法を用いることにより低コストかつ短期間に行う方法および装置を提供する。【構成】第1のポンチとダイス穴とでセラミックグリーンシート4を打ち抜きビアホール5を形成したのち、埋め込み材6をセラミックグリーンシート4上に供給し(図(A))第2のポンチ1bで埋め込み材を打ち抜く(図2(B))と同時にビアホールに埋め込む(図2(C))。
Claim (excerpt):
第1のポンチの軸下にダイス穴を有する第1の下型ベースの上にセラミックグリーンシートを設置し、前記第1のポンチを押し下げて前記セラミックグリーンシートの所定位置を打ち抜き所定形状のビアホールを形成する孔開け工程を行い、次に平面を有する第2の下型ベース上に第2のポンチの軸と前記ビアホールの中心とが一致するように前記セラミックグリーンシートを設置し導電性金属を含む板状の埋め込み材を前記セラミックグリーンシートの上に設置し、前記第2のポンチを押し下げて前記埋め込み材を打ち抜き打ち抜かれた前記埋め込み材を前記ビアホールに埋め込む穴埋め工程を行うことを特徴するビアフィル形成方法。
IPC (3):
B26F 1/00 ,  B28B 11/12 ,  H05K 3/40

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