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J-GLOBAL ID：200903076294271920
フォトン走査トンネル顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岩橋 祐司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996029818
Publication number (International publication number)：1997196937
Application date： Jan. 23, 1996
Publication date： Jul. 31, 1997
Summary：
【要約】【課題】 本発明の目的はより高分解能かつ散乱光集光効率の高いフォトン走査トンネル顕微鏡を提供することにある。【解決手段】 被測定試料10表面のエバネッセント光場16へプローブ64を進入させることにより発生する散乱光Lを採取する散乱光採取手段18を備えたフォトン走査トンネル顕微鏡30において、前記散乱光採取手段30は、前記プローブ64基部の略全周にわたって設けられた散乱光Lを集光する集光部62を有することを特徴とするフォトン走査トンネル顕微鏡。
Claim (excerpt)：
被測定試料表面のエバネッセント光の場へプローブを進入させることにより発生する散乱光を採取する散乱光採取手段を備えたフォトン走査トンネル顕微鏡において、前記散乱光採取手段は、前記プローブ基部の略全周にわたって設けられた散乱光を集光する集光部を有することを特徴とするフォトン走査トンネル顕微鏡。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 D
, G01B 11/30 Z
