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J-GLOBAL ID：200903076295023556

微細構造化面をもつ弾性センサ層で構成される圧力センサ

Inventor： ビーイック、ヴェルナー ,  キルッシュ、アロイス ,  シューマッハー、アラン ,  シュース、アロイス
Applicant, Patent owner： アイイーイー インターナショナル エレクトロニクス アンド エンジニアリング エス.エイ.
Agent (2)： 浜本 忠 ,  佐藤 嘉明
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2004564248
Publication number (International publication number)：2006513408
Application date： Dec. 23, 2003
Publication date： Apr. 20, 2006
Summary：

弾性抵抗材料から成り、図示しない高分子フィルムに当接するセンサ層(12、14)を備えた圧力センサが開示される。(22)は、接着剤で被覆されたスペーサの具体例である。一方のセンサ層(14)には、球状構造部(20)を作動域(16)内に包含する微細構造化面が設けられる。これ等構造部の広がりRが50μmの場合、圧縮路は10μmとなる。構造部(20)は特定の表面粗さと比べて大きい。本発明の圧力センサは、射出成形、エッチング、エンボス加工、又は電子ビーム又はレーザビーム法により製造される。作用を異にする、その変更例も開示される。

Claim (excerpt)：

第1の感知層を有する第1のキャリアフォイルと第2の感知層を有する第2のキャリアフォイルを備える圧力センサであり、第1及び第2のキャリアフォイルを互いに、第1及び第2の感知層が両者間で接触部を形成するように配置し、第1及び第2の感知層を、センサの端子接点間の電気抵抗が両感知層間の接触面積に依存するように構成した圧力センサであって、 少なくとも第2の感知層には、圧力センサの作動域の部分に、弾性材料の画成構造部を有する微細構造化面が設けられ、第2の感知層の上記構造部が第1の感知層との接触を維持し、該第1の感知層と共に接触面を形成し、且つ 上記構造部が圧力センサに作用する力の影響下で圧縮され、上記接触面の面積が増大するようにしたことを特徴とする圧力センサ。

IPC (1)：

G01L 1/20

FI (2)：

G01L1/20 G ,  G01L1/20 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平4-056008