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J-GLOBAL ID：200903076307414092

カンチレバー型アクチュエータ及びそれを用いた走査型探針顕微鏡並びに情報処理装置

Inventor： 渡邊 信男 ,  八木 隆行 ,  山本 智子 ,  中山 優 ,  鈴木 義勇 ,  山本 敬介 ,  河田 春紀
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993131037
Publication number (International publication number)：1994317404
Application date： May. 10, 1993
Publication date： Nov. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 走査型探針顕微鏡に用いられ、表面の凹凸が比較的大きな試料を観察する場合にも、探針の接触角の変化や位置ずれが小さいカンチレバー型アクチュエータを提供する。【構成】 固定電極13を有する基板11に、固定端側の機械的強度の小さい部分1と探針17が設けられている自由端側の機械的強度の大きい部分2から成るカンチレバー16が、支持体15により支持されているカンチレバー型アクチュエータ。

Claim (excerpt)：

固定電極を有する基板上に薄膜構造体より成るカンチレバーを設けたカンチレバー型アクチュエータであって、上記カンチレバーは少なくとも2つ以上の機械的強度の異なる部分より成り、且つ該カンチレバーの固定端近傍部分が他の部分よりも機械的強度が小さいことを特徴とするカンチレバー型アクチュエータ。

IPC (4)：

G01B 7/34 ,  G11B 9/00 ,  H01J 37/28 ,  H01L 41/09