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J-GLOBAL ID：200903076311607512

光導波路デバイス

Inventor： 定行 勝 ,  林 智幸 ,  安間 康浩 ,  市川 智徳
Applicant, Patent owner： エフ・ディ-・ケイ株式会社
Agent (1)： 一色 健輔 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001209348
Publication number (International publication number)：2003021815
Application date： Jul. 10, 2001
Publication date： Jan. 24, 2003
Summary：

【要約】【課題】 基板に形成した光導波路の光伝播をその基板上に形成したヒータ電極で可変制御するようにした光導波路デバイスにおいて、PDL(偏波依存損失)を効果的に低減させる。【解決手段】 ヒータ電極42からの熱が上記光導波路20の幅方向と深さ方向とに均等に伝導するように、さらに望ましくは、上記ヒータ電極42から上記基板10に作用する膜応力が-1.5×108〜1.5×108[N/m2]の範囲内となるように、上記ヒータ電極42を形成する。

Claim (excerpt)：

基板に形成した光導波路の光伝播をその基板上に形成したヒータ電極で可変制御するようにした光導波路デバイスにおいて、上記ヒータ電極からの熱が上記光導波路の幅方向と深さ方向とに均等に伝導するように上記ヒータ電極を形成したことを特徴とする光導波路デバイス。

IPC (2)：

G02F 1/01 ,  G02B 6/12

FI (3)：

G02F 1/01 C ,  G02B 6/12 H ,  G02B 6/12 F

F-Term (17)：

2H047KA04 ,  2H047LA12 ,  2H047LA18 ,  2H047NA01 ,  2H047PA13 ,  2H047PA22 ,  2H047QA04 ,  2H047RA00 ,  2H079AA06 ,  2H079AA12 ,  2H079BA01 ,  2H079CA09 ,  2H079DA17 ,  2H079EA05 ,  2H079HA11 ,  2H079JA01 ,  2H079JA05