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J-GLOBAL ID：200903076317110792

クラスター銃

Inventor： 岩田 康嗣 ,  福田 昭 ,  木山 学 ,  武藤 麻紀子 ,  澤田 嗣郎 ,  小村 明夫 ,  滝谷 俊夫 ,  中島 琥一郎
Applicant, Patent owner： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  日立造船株式会社 ,  甲子園金属株式会社
Agent (2)： 岸本 瑛之助 (外4名) ,  岸本 瑛之助 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000221979
Publication number (International publication number)：2002038257
Application date： Jul. 24, 2000
Publication date： Feb. 06, 2002
Summary：

【要約】【課題】 サイズの揃ったクラスターを生成する。さらに、レーザー光源を、ターゲット蒸発ガスのクラスタービーム出射方向と異なる方向に設置することができ、基板の設置自由度の大きい状態で薄膜生成をする。【解決手段】 クラスター銃は、クラスター生成室111を有するクラスター生成本体13と、クラスターターゲットTをその蒸発面Vがクラスター生成室111に臨ませられるように保持するターゲットホルダー55と、蒸発面Vにレーザを照射してターゲットTを蒸発ガス化させるとともに、ターゲットTの蒸発により衝撃波を発生させるレーザー発生器37と、蒸発面Vに対し相対させられかつ発生させられた衝撃波を反射させる反射面112と、蒸発ガスを不活性ガスの流れにのせて反射面112に導くように蒸発面Vから反射面112に向かう不活性ガスの流れを生じさせる不活性ガス手段とを備えている。蒸発面Vに対するレーザー入射方向は、不活性ガスの流れ方向に対し所定の角度に保持されている。

Claim (excerpt)：

クラスター生成室を有するクラスター生成本体と、クラスターターゲットをその蒸発面がクラスター生成室に臨ませられるように保持するターゲットホルダーと、蒸発面にレーザを照射してターゲットを蒸発ガス化させるとともに、ターゲットの蒸発により衝撃波を発生させるレーザー光源と、蒸発面に対し相対させられかつ発生させられた衝撃波を反射させる反射面を有する反射手段と、蒸発ガスを不活性ガスの流れにのせて反射面に導くように蒸発面から反射面に向かう不活性ガスの流れを生じさせる不活性ガス手段とを備えており、蒸発面に対するレーザー入射方向が、不活性ガスの流れ方向に対し所定の角度に保持されているクラスター銃。

F-Term (2)：

4K029CA01 ,  4K029DB20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• クラスター生成装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-206418   Applicant：動力炉・核燃料開発事業団
• 特開平4-301072
  
• 特開昭63-176463