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J-GLOBAL ID:200903076319230256
感光性樹脂組成物
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
萩野 平 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998320697
Publication number (International publication number):2000147754
Application date: Nov. 11, 1998
Publication date: May. 26, 2000
Summary:
【要約】【課題】 感光層塗料として支持体等に塗布した場合でもハジキが発生することなく均一な厚さの感光層が形成でき、かつ、感度を低下させることなく硬調な画像形成性を示し、焼きぼけ、白灯安全性、および現像許容性の広い満足するべき感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 少なくとも下記(1)および(2)で示される構成単位を共重合成分として有する高分子化合物を含有することを特徴とする。(1)水素原子がフッ素原子に置換されたフルオロ脂肪族基を2つ以上有する付加重合可能なモノマー、(2)酸性水素原子を有する付加重合可能なモノマー。
Claim (excerpt):
少なくとも下記(1)および(2)で示される構成単位を共重合成分として有する高分子化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。(1)水素原子がフッ素原子に置換されたフルオロ脂肪族基を2つ以上有する付加重合可能なモノマー(2)酸性水素原子を有する付加重合可能なモノマー
IPC (4):
G03F 7/004 504
, G03F 7/00 503
, G03F 7/022
, H01L 21/027
FI (4):
G03F 7/004 504
, G03F 7/00 503
, G03F 7/022
, H01L 21/30 502 R
F-Term (19):
2H025AA00
, 2H025AA01
, 2H025AB03
, 2H025AB08
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB29
, 2H025CC04
, 2H025FA17
, 2H096AA06
, 2H096AA08
, 2H096AA24
, 2H096AA25
, 2H096BA10
, 2H096BA20
, 2H096EA02
, 2H096GA08
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