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J-GLOBAL ID：200903076322851652

フッ素化された分子並びに、その製造及び使用法

Inventor： ポス,アンドリュー ,  ネイルワジェック,デービッド ,  デミン,ティモシー・アール ,  ネア,ハリダサン・ケイ
Applicant, Patent owner： ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド
Agent (6)： 社本 一夫 ,  増井 忠弐 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  沖本 一暁
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2003571798
Publication number (International publication number)：2005518476
Application date： Feb. 21, 2003
Publication date： Jun. 23, 2005
Summary：

フォトレジスト組成物などの広範な用途で使用するための、フルオロアルキルノルボルネン、フッ素化クロトン酸エステル、フッ素化アリルアルコール及び、これらの二種以上の組み合わせから誘導したポリマーを提供する。また、本発明のポリマーで使用するためのフルオロアルキルノルボルネン、フッ素化クロトン酸エステル及びフッ素化アリルアルコールの製造法を提供する。

Claim (excerpt)：

(A)式1:

IPC (5)：

C08F32/00 ,  C08F16/04 ,  C08F20/22 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

FI (5)：

C08F32/00 ,  C08F16/04 ,  C08F20/22 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R

F-Term (32)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA13 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB08 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  4J100AC22Q ,  4J100AC24Q ,  4J100AC25Q ,  4J100AC26Q ,  4J100AC27Q ,  4J100AC28Q ,  4J100AD07P ,  4J100AL24P ,  4J100AR11P ,  4J100BA03P ,  4J100BA20P ,  4J100BA40P ,  4J100BB07P ,  4J100BB18P ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100JA38