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J-GLOBAL ID：200903076333402280

研磨用組成物

Inventor： 児 玉 一 志 ,  三 浦 史 朗 ,  大 竹 秀 樹 ,  河 村 篤 紀 ,  伊 東 真 時
Applicant, Patent owner： 株式会社フジミインコーポレーテッド
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996243196
Publication number (International publication number)：1998088111
Application date： Sep. 13, 1996
Publication date： Apr. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】 長期間の貯蔵後も沈殿物の再分散性が良好であり、研磨加工面にスクラッチおよびその他の表面欠陥の発生を防止でき、フュームドアルミナまたはフュームドシリカの添加量により選択比を調節することが可能である研磨用組成物の提供。【解決手段】 窒化ケイ素微粉末、水、およびフュームドアルミナまたはフュームドシリカを含んでなることを特徴とする、研磨用組成物。

Claim (excerpt)：

窒化ケイ素微粉末、水、およびフュームドアルミナまたはフュームドシリカを含んでなることを特徴とする、研磨用組成物。

IPC (3)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00

FI (4)：

C09K 3/14 550 C ,  C09K 3/14 550 D ,  C09K 3/14 550 Z ,  B24B 37/00 H