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J-GLOBAL ID：200903076348191596

波長可変干渉フィルタ及びその製造方法

Inventor： 紙透 真一
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (4)： 小林 久夫 ,  佐々木 宗治 ,  木村 三朗 ,  大村 昇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003191805
Publication number (International publication number)：2005025020
Application date： Jul. 04, 2003
Publication date： Jan. 27, 2005
Summary：

【課題】静電駆動方式の波長可変干渉フィルタにおいて、その故障の原因となる可動部と電極間の放電や電気的短絡を確実に防止し、信頼性の向上に寄与する波長可変干渉フィルタおよびその製造方法を提供する。【解決手段】可動鏡を有する可動部13が静電引力の作用により変位可能に構成された波長可変干渉フィルタにおいて、前記可動部13はシリコンからなり、その表面には、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、シリコンオキシナイトライド等の絶縁膜14を形成する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

可動鏡を有する可動部が静電引力の作用により変位可能に構成された波長可変干渉フィルタにおいて、前記可動部はシリコンからなり、その表面には、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、シリコンオキシナイトライド等の絶縁膜が形成されていることを特徴とする波長可変干渉フィルタ。

IPC (5)：

G02B26/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B1/11 ,  G02B5/28

FI (5)：

G02B26/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B5/28 ,  G02B1/10 A

F-Term (27)：

2H041AA21 ,  2H041AB16 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ06 ,  2H048GA04 ,  2H048GA09 ,  2H048GA13 ,  2H048GA25 ,  2H048GA26 ,  2H048GA33 ,  2H048GA43 ,  2H048GA48 ,  2H048GA60 ,  2H048GA62 ,  2K009AA03 ,  2K009BB02 ,  2K009BB04 ,  2K009CC03 ,  2K009DD03 ,  4K030BA17 ,  4K030BA40 ,  4K030BA42 ,  4K030BA44 ,  4K030BB12 ,  4K030LA02 ,  4K030LA11