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J-GLOBAL ID：200903076376810579

透過型電子顕微鏡及び元素分布観察方法

Inventor： 谷口 佳史 ,  砂子沢 成人
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997048202
Publication number (International publication number)：1998246709
Application date： Mar. 03, 1997
Publication date： Sep. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】 ノイズを強調したりせずに元素分布像を実時間観察する。【解決手段】 目的の元素のコアロスエネルギーをEc、エネルギー選択スリットの幅をΔEとする。まず、電子銃2の加速電圧をEc-ΔEだけ増加させたプリエッジ像と、Ec-2ΔEだけ増加させたプリプリエッジ像を同じ露光時間で撮影し、その強度比Rを求める。次に、加速電圧をEcだけ増加させたポストエッジ像を露光時間tpreで撮影し、プリエッジ像を露光時間R×tpreで撮影する。コンピュータ20内でポストエッジ像からプリエッジ像を単純に画像の引き算を行うことにより、目的の元素分布像を得る。

Claim (excerpt)：

エネルギーフィルタを備えた透過型電子顕微鏡によって撮像されたコアロス電子を含むエネルギー領域の像とコアロス電子を含まないエネルギー領域の像の画像間減算によって特定元素の元素分布像を得る元素分布観察方法において、前記コアロス電子を含まないエネルギー領域の像の露光時間を前記コアロス電子を含むエネルギー領域の像の露光時間よりも短く設定することを特徴とする元素分布観察方法。

IPC (3)：

G01N 23/04 ,  H01J 37/22 501 ,  H01J 37/26

FI (3)：

G01N 23/04 ,  H01J 37/22 501 A ,  H01J 37/26