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J-GLOBAL ID：200903076390335476

吸光物質検出方法、並びに露光方法及び装置

Inventor： 青木 貴史 ,  大和 壮一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 志賀 正武 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999242352
Publication number (International publication number)：2001068400
Application date： Aug. 27, 1999
Publication date： Mar. 16, 2001
Summary：

【要約】【課題】 効率良く正確に短時間で吸光物質の濃度等を検出することができる吸光物質検出方法、並びにこれを備えた露光方法及び露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】 露光装置1Aは、光路空間LSを通過する露光光ELの強度に関する情報を計測する計測器10と、この計測器10に接続された算出部100と、算出部100の算出結果に基づき露光装置1Aを制御する制御部9とを備えている。算出部100は計測器10の計測結果に基づいて光路空間LSの吸光物質の濃度を算出し、制御部9はこの濃度に応じて基板WへのマスクMのパターンの像の転写を行うか否かを判断する。

Claim (excerpt)：

露光エネルギー発生源からの露光エネルギーのもとでマスクのパターンの像を基板に転写する際、前記露光エネルギー発生源と前記基板との間に形成される少なくとも1つの空間内で、前記露光エネルギーを吸収する吸光物質を検出する吸光物質検出方法において、前記露光エネルギーの通過する空間に所定の光線を照射し、該空間を通過した前記所定の光線の強度に関する情報を計測し、この計測結果に基づいて前記空間内の吸光物質の濃度を検出することを特徴とする吸光物質検出方法。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G01N 21/33 ,  G03F 7/20 521

FI (3)：

H01L 21/30 516 Z ,  G01N 21/33 ,  G03F 7/20 521

F-Term (35)：

2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB01 ,  2G059CC20 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059FF06 ,  2G059GG01 ,  2G059GG07 ,  2G059GG08 ,  2G059GG10 ,  2G059HH03 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059KK04 ,  2G059MM05 ,  2G059MM10 ,  5F046AA22 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CA08 ,  5F046CB20 ,  5F046CB21 ,  5F046DA01 ,  5F046DA02 ,  5F046DA27 ,  5F046DA30 ,  5F046DB01 ,  5F046DB11 ,  5F046DC02 ,  5F046DC12