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J-GLOBAL ID：200903076394246478

光学多層膜フィルタ

Inventor： 関口 利貞
Applicant, Patent owner： 株式会社フジクラ
Agent (1)： 伊丹 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995094275
Publication number (International publication number)：1996262224
Application date： Mar. 28, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 機械的強度を損なうことなく内部応力による反りを防止した光学多層膜フィルタを提供する。【構成】 BK-7基板11に、SiO2 膜13aとTiO2 膜13bの積層膜からなる光学多層膜13を形成して光学多層膜フィルタを形成するに当たって、バッファ層12として、光学多層膜13の内部応力を打ち消すに必要な内部応力を発生するようにTiO2 膜を成膜する。

Claim (excerpt)：

基板上に屈折率の異なる材料膜を交互に複数層積層形成してなる光学多層膜を有する光学多層膜フィルタにおいて、前記基板と光学多層膜の間に前記光学多層膜の内部応力を緩和するバッファ層を介在させたことを特徴とする光学多層膜フィルタ。

IPC (4)：

G02B 5/28 ,  B29D 11/00 ,  B32B 7/02 103 ,  G02B 5/20

FI (4)：

G02B 5/28 ,  B29D 11/00 ,  B32B 7/02 103 ,  G02B 5/20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭60-006905
  
• 特開平4-211203
  
• 特開平3-233501
  
• 特開平4-007505