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J-GLOBAL ID：200903076438316797
角速度センサ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
有我 軍一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000026298
Publication number (International publication number)：2001215122
Application date： Feb. 03, 2000
Publication date： Aug. 10, 2001
Summary：
【要約】【課題】 本発明は、角速度の検出精度を高める。【解決手段】 外側振動柱22、23および外側振動柱22、23の間に位置する中央振動柱24を備え、外側振動柱22、23を、くびれ部27を介して固定部材25に連結された第1、2分岐軸22a、23aと、第1、2分岐軸22a、23aと直交する方向に延在する第1、2振動軸22b、23bと、第1、2振動軸22b、23bに対して直交する方向に延在する第1、2張り出し軸22c、23cとから構成し、外側振動柱22、23を第1、2振動軸22a、23aの面方向と直交する方向に捩れ振動させるとともに、第1、2分岐軸22b、23bと平行な軸77回りに角速度が加わったときに、第1、2分岐軸22a、23aに発生する前記捩れ方向と直交する方向のコリオリ力を第1,2分岐軸22a、23aの面内歪みとして検出する。
Claim (excerpt)：
3本の振動柱から構成される角速度検出用の3脚音叉振動子を備えた角速度センサであって、前記振動柱のうちの両端に位置する2本の外側振動柱は、くびれ部を介して固定部材に連結された第1分岐軸および第2分岐軸と、その第1、2分岐軸と直交する方向に延在する第1振動軸および第2振動軸と、その第1、2振動軸に対して直交する方向に延在する第1張り出し軸および第2張り出し軸とからなり、前記振動柱のうちの中央に位置する振動柱は、前記外側振動柱の第1振動軸および第2振動軸と平行に延在する中央振動柱からなり、前記第1張り出し軸および第2張り出し軸のそれぞれに第1励振電極および第2励振電極を設けることにより、前記一対の外側振動柱を前記第1振動軸および第2振動軸の面方向と直交する方向に捩れ振動させるとともに、前記第1分岐軸および第2分岐軸に第1コリオリ検出電極および第2コリオリ検出電極を設けることにより、前記第1分岐軸および第2分岐軸と平行な軸回りに角速度が加わったときに、前記第1分岐軸および第2分岐軸に発生する前記捩れ方向と直交する方向のコリオリ力を前記第1分岐軸および第2分岐軸の面内歪みとして検出することを特徴とする角速度センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (8)：
2F105AA01
, 2F105AA02
, 2F105AA03
, 2F105BB04
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD13
