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J-GLOBAL ID：200903076564724183

現像可能な光硬化性組成物

Inventor： 藤本 寿一 ,  塗師 誠司 ,  福島 洋
Applicant, Patent owner： 三菱レイヨン株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000131768
Publication number (International publication number)：2001312061
Application date： Apr. 28, 2000
Publication date： Nov. 09, 2001
Summary：

【要約】【課題】 光感度に優れたフォトレジスト組成物として有用な、現像可能な光硬化性組成物を提供する。【解決手段】 分子内に1または2個のラジカル重合可能なエチレン性不飽和結合を有する化合物(a1)および分子内に3個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物(a2)を重合して得られ、平均一次粒子径が10〜1000nmの範囲にある架橋微粒子(A)5〜40質量%と、分子内に(メタ)アクリロイル基を有する化合物(B)95〜60質量%とからなる配合物100質量部に対して、光重合開始剤(C)が0.01〜20質量部添加されている光硬化性組成物。

Claim (excerpt)：

分子内に1または2個のラジカル重合可能なエチレン性不飽和結合を有する化合物(a1)および分子内に3個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物(a2)を重合して得られ、平均一次粒子径が10〜1000nmの範囲にある架橋微粒子(A)5〜40質量%と、分子内に(メタ)アクリロイル基を有する化合物(B)95〜60質量%とからなる配合物100質量部に対して、光重合開始剤(C)が0.01〜20質量部添加されていることを特徴とする光硬化性組成物。

IPC (5)：

G03F 7/027 502 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/50 ,  C08F291/00 ,  G03F 7/004 501

FI (5)：

G03F 7/027 502 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/50 ,  C08F291/00 ,  G03F 7/004 501

F-Term (87)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA11 ,  2H025AB11 ,  2H025AB13 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC83 ,  2H025BC85 ,  2H025BJ03 ,  2H025CB54 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J011AC04 ,  4J011PA65 ,  4J011PA67 ,  4J011PA68 ,  4J011PA69 ,  4J011PA70 ,  4J011PB06 ,  4J011PB40 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J011QA03 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA14 ,  4J011QA15 ,  4J011QA18 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA25 ,  4J011QA35 ,  4J011QB14 ,  4J011QB16 ,  4J011QB19 ,  4J011QB20 ,  4J011QB24 ,  4J011RA03 ,  4J011RA12 ,  4J011SA05 ,  4J011SA06 ,  4J011SA22 ,  4J011SA24 ,  4J011SA25 ,  4J011SA34 ,  4J011SA54 ,  4J011SA61 ,  4J011SA63 ,  4J011SA64 ,  4J011SA82 ,  4J011SA84 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA17 ,  4J026AA18 ,  4J026AA19 ,  4J026AA31 ,  4J026AA37 ,  4J026AA38 ,  4J026AA40 ,  4J026AA43 ,  4J026AA44 ,  4J026AA45 ,  4J026AA46 ,  4J026AA47 ,  4J026AA48 ,  4J026AA50 ,  4J026AA76 ,  4J026AC31 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BA29 ,  4J026BA30 ,  4J026BB01 ,  4J026BB04 ,  4J026DA04 ,  4J026DB06 ,  4J026DB36 ,  4J026FA02 ,  4J026FA09 ,  4J026GA07