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J-GLOBAL ID：200903076585670466

荷電粒子の二重モ-ド検知

Inventor： ポール ジェイ. デュバル ,  ステファン ダブリュ. イント ,  イラ ローゼンバーグ ,  ニール エス. カサ ,  ケニス エイチ. ブラウン ,  ブラディミール ベイナー
Applicant, Patent owner： シュルンベルジェ テクノロジーズ, インコーポレイテッド
Agent (1)： 小橋 一男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999323309
Publication number (International publication number)：2000164167
Application date： Nov. 12, 1999
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】 高エネルギ荷電粒子と低エネルギ荷電粒子の別々の読みを同時的に得ることが可能な技術を提供する。【解決手段】 本発明装置は、サンプルによって射出された高エネルギ及び低エネルギ荷電粒子を検知する。これらの荷電粒子は高エネルギ検知器及び低エネルギ検知器で検知される。低エネルギ荷電粒子は高エネルギ検知器及び/又は偏向器によって低エネルギ検知器へ指向される。

Claim (excerpt)：

サンプルから発生された高エネルギ及び低エネルギ荷電粒子を検知する装置において、高エネルギ荷電粒子を検知する高エネルギ検知器、低エネルギ荷電粒子を検知する低エネルギ検知器、を有しており、前記高エネルギ検知器が低エネルギ荷電粒子を前記低エネルギ検知器へ向かって偏向させるように配設されており、前記低エネルギ検知器が前記偏向された低エネルギ荷電粒子を検知するように配設されていることを特徴とする装置。

IPC (4)：

H01J 37/244 ,  G01N 23/225 ,  G01T 1/29 ,  H01J 49/44

FI (4)：

H01J 37/244 ,  G01N 23/225 ,  G01T 1/29 B ,  H01J 49/44