プラズマ発生電極及びプラズマ反応器

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：渡邉一平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004365815
Publication number (International publication number)：2005203362
Application date： Dec. 17, 2004
Publication date： Jul. 28, 2005
Summary：

【課題】互いに対向する単位電極相互間に、低い投入エネルギーで、安定なプラズマを発生させ、部分的に強い電界領域を均等に形成することが可能なプラズマ発生電極を提供する。【解決手段】互いに対向する二つ以上の単位電極2を備え、単位電極2相互間に電圧を印加することによってプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極1であって、互いに対向する単位電極2のうちの少なくとも一方が、板状のセラミック誘電体3と、このセラミック誘電体3の内部に、その膜厚方向に所定の間隔を隔てた状態で配設された複数の導電膜4とを有し、単位電極2を構成する複数の導電膜4のうちの少なくとも一枚に、膜厚方向に貫通した複数の貫通孔5が形成されてなるプラズマ発生電極1。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

互いに対向する二つ以上の単位電極を備え、前記単位電極相互間に電圧を印加することによってプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極であって、互いに対向する前記単位電極のうちの少なくとも一方が、板状のセラミック誘電体と、前記セラミック誘電体の内部に、その膜厚方向に所定の間隔を隔てた状態で配設された複数の導電膜とを有し、前記単位電極を構成する複数の前記導電膜のうちの少なくとも一枚に、前記膜厚方向に貫通した複数の貫通孔が形成されてなるプラズマ発生電極。

IPC (6)：

H05H1/24 , B01D53/94 , B01J19/08 , F01N3/02 , F01N3/08 , F01N9/00

FI (7)：

H05H1/24 , B01J19/08 E , F01N3/02 301F , F01N3/08 C , F01N9/00 A , F01N9/00 Z , B01D53/36 101A

F-Term (42)：

3G090AA06 , 3G090BA08 , 3G091AA02 , 3G091AA18 , 3G091AA28 , 3G091AB04 , 3G091AB14 , 3G091AB16 , 3G091BA00 , 3G091BA14 , 3G091BA15 , 3G091BA19 , 3G091BA39 , 3G091CA21 , 3G091DB10 , 3G091GA06 , 3G091GB01W , 3G091GB01X , 3G091GB05W , 3G091GB06W , 3G091GB07W , 3G091GB10X , 3G091GB16X , 3G091HA07 , 4D048AA06 , 4D048AB02 , 4D048BA03X , 4D048BA30X , 4D048CD10 , 4G075AA01 , 4G075BA10 , 4G075CA25 , 4G075DA02 , 4G075EB42 , 4G075EC21 , 4G075EE12 , 4G075EE31 , 4G075FA01 , 4G075FB02 , 4G075FB04 , 4G075FC11 , 4G075FC15

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

プラズマ排気ガス処理システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-351382 Applicant：三菱自動車工業株式会社

Cited by examiner (10)

特開昭52-085093
特開昭55-007564
オゾン発生用部材及びこれを用いたオゾン発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-393565 Applicant：京セラ株式会社

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