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J-GLOBAL ID:200903076618303596

可視光感光性樹脂組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991206088
Publication number (International publication number):1993027422
Application date: Jul. 24, 1991
Publication date: Feb. 05, 1993
Summary:
【要約】【目的】本発明は、400nm〜700nmの波長の光に対して優れた感光性を有する可視光感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。【構成】(A)重合可能なエチレン性不飽和結合を少なくとも1個以上有する化合物と、下記一般式(I)で表される(B)金属錯化合物と、(C)少なくとも一種以上のラジカル重合開始剤よりなる可視光感光性樹脂組成物。一般式(I)【化1】
Claim (excerpt):
(A)重合可能なエチレン性不飽和結合を少なくとも1個以上有する化合物、(B)一般式(I)で表される金属錯化合物、(C)オニウム塩化合物(a)、少なくとも1つのモノ、ジ、あるいはトリハロメチル基により置換された1、3、5-トリアジン誘導体(b)、有機過酸化物(c)、から選ばれる少なくとも一種のラジカル重合開始剤、上記(A)、(B)、(C)よりなる可視光感光性樹脂組成物。一般式(I)【化1】(式中、L1 、L2 、L3 、L4 、L5 、L6 は、それぞれ、窒素原子を少なくとも1つ以上含むアルキル基、ヒドロキシ基、アルキルカルボニル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、ジアルキルアミノ基が置換されていてもよい芳香環の配位子である。さらに、L1 、L2 、L3 、L4 、L5 、L6 は、同一分子または隣接分子の配位子と化学結合で結ばれていてもよい。Mは、2価のルテニウム、オスミウムを表す。X- はハロゲンイオン、BF4 - 、PF6 - 、AsF6 - 、ClO4 - 、SbF6 - を示す。)
IPC (5):
G03F 7/004 503 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
  • 特開平2-182701
  • 特開昭60-078442
  • 特開平2-048665
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