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J-GLOBAL ID:200903076629957466

MEMS光学装置を利用するための結像技術

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 三俣 弘文 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002192121
Publication number (International publication number):2003043384
Application date: Jul. 01, 2002
Publication date: Feb. 13, 2003
Summary:
【要約】【課題】 MEMS光学装置を利用するための結像技術を提供する。【解決手段】 MEMS光学装置は、第1および第2の光学装置の各々の少なくとも1つのマイクロミラーの傾斜角を効果的に結合するように、第2のMEMS光学装置が位置する異なる位置で結像される。この結像系は、第1のマイクロミラーからの光の反射角を再現することができる。これは、4f系、としても知られているテレセントリック系を結像系として用いて実現することができる。光路を圧縮することによって、たとえば適切な従来のミラーを用いることおよび/または折畳み配置、すなわち少なくとも1つの従来のミラーを用いて入力および出力の両方の二役を担う1つのみのMEMS装置ステージがある配置を利用することによって、この配置の物理的大きさを減小することができる。
Claim (excerpt):
第1の数のマイクロミラーを含む第1のマイクロ電気機械式(MEMS)装置と、第2の数のマイクロミラーを含む第2のマイクロ電気機械式(MEMS)装置と、前記第1のMEMS装置の前記マイクロミラーの各々の画像を前記第2のMEMS装置の対応するマイクロミラーに形成するために、前記第1のMEMS装置に光学的に結合される第1の結像系とを有し、前記第1のMEMS装置の前記マイクロミラーの少なくとも1つが、前記第2のMEMS装置の前記マイクロミラーの少なくとも1つとグループを作り、前記第1のMEMS装置の前記少なくとも1つのグループを作るマイクロミラーからの反射角および前記第2のMEMS装置の前記少なくとも1つのグループを作るマイクロミラーからの反射角が、前記グループに対する全体有効角を形成するように組み合わされることを特徴とする光スイッチ。
F-Term (6):
2H041AA17 ,  2H041AB14 ,  2H041AB15 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ05
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
  • 光スイッチ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2001-142370   Applicant:沖電気工業株式会社
Cited by examiner (1)
  • 光スイッチ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2001-142370   Applicant:沖電気工業株式会社

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