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J-GLOBAL ID：200903076630126918
走査型トンネル顕微鏡用探針およびその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993310288
Publication number (International publication number)：1995159113
Application date： Dec. 10, 1993
Publication date： Jun. 23, 1995
Summary：
【要約】【目的】 基礎部と先端部との境界に段差が形成されない探針を得る。【構成】 導電性を有する円柱状の探針用材料を、円柱状の基礎部11とこの基礎部11の断面と同一形状の底面および基礎部11と同一の回転軸を有する略円錐体状の先端部12をその先端角αが所望の値となるように加工し、その後、先端部12の先端径dが所望の値となるように前記円錐体の頂点部を電解研磨またはエッチングする。または、探針用材料を電解溶液またはエッチング液に浸し、その液面を探針用材料の液中の一端側に向けて所定の速度で移動させることで、先端部12の先端角αが所望の値となるように形成する。
Claim (excerpt)：
導電性を有する物質からなる走査型トンネル顕微鏡用探針において、該探針が円柱状の基礎部と、該基礎部の断面と同一形状の底面および基礎部と同一の回転軸を有すると共に先端角が制御された略円錐体状の先端部からなることを特徴とする走査型トンネル顕微鏡用探針。
IPC (2)：
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