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J-GLOBAL ID：200903076632768283

プラズマ製造方法

Inventor： 池田 哲哉
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 光石 俊郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992284355
Publication number (International publication number)：1994140186
Application date： Oct. 22, 1992
Publication date： May. 20, 1994
Summary：

【要約】【目的】 円筒型空洞共振器内で多様なマイクロ波電磁界モードの中からダイヤモンド薄膜等に適するプラズマを製造することができるTM010モードだけで、放電管内のガス媒質を均一に放電励起させることができるプラズマの製造方法を提供することを目的とする。【構成】 TM010モードの共振周波数をマイクロ波の周波数f0に合わせ、マイクロ波発振器から出力されるマイクロ波の周波数スペクトルの半値幅以上にTM及びTEの高次モードの共振周波数を離すように、空洞共振器の長さを決める。更に、空洞共振器内への誘電体である放電管(体積V)の挿入及び放電プラズマの発生による内部の誘電率εのずれに起因する共振周波数のずれΔf、更に空洞共振器の内径Dを次式の関係から求める。Δf/f0=3.74×10-4εVD=5.274×1020/{f0(1+Δf/f0)}

Claim (excerpt)：

マイクロ波発振器から出力されたマイクロ波を円筒空洞共振器中に導入し、そのマイクロ波の電界によって、試料ガスを放電させるプラズマ装置において、前記円筒型空洞共振器内で軸方向に均一放電を発生させる電磁界のTM010モードの共振周波数のみをマイクロ波発振器の周波数に一致させ、単一の共振モードによる放電を得ることによって、当該円筒型空洞共振器の放電管内の試料ガス全体を放電させることを特徴とするプラズマ製造方法。

IPC (4)：

H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302