現物照合機能を備えたCADシステム

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高矢諭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994328054
Publication number (International publication number)：1996185428
Application date： Dec. 28, 1994
Publication date： Jul. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 CADデータの加工寸法パターンと、それより小さいエッチング製品パターンとの全体的な位置合せをも、CAD装置上で容易且つ正確に行う。【構成】製品設計寸法パターン等のCADデータと、画像入力された現物(サンプル)の画像データをCADデータに変換して両者を重ね合せる機能を有したCADシステムであって、所定ピッチで移動可能なXYステージと、その上に載設された、回転ステージとを備え、カメラ視野をXYステージに、その視野に現物をそれぞれ直交調整可能とし、現物パターンを、視野単位で撮り込んだ画像データをベクタデータに変換する作業を、領域全体に実行してCADデータとし、該CADデータを、設計図面対応CADデータとCAD装置上で重ね合せ、互いにX又はY方向に移動させて位置合せする。

Claim (excerpt)：

製品設計寸法パターンのCADデータを基に、レジストパターンの原型となる加工寸法パターンのCADデータを作成する機能を有するCAD装置と、エッチング工程で使用又は生成する現物をサンプル装着装置のサンプル装着部にセットし、そのパターンを高精度で画像入力するカメラと、入力された画像データをCADデータに変換するラスタ・ベクタ変換手段とを備えていると共に、2以上のCADデータを重ね合せて照合する機能を有している現物照合機能を備えたCADシステムであって、上記サンプル装着装置が、X方向及びY方向にそれぞれ所定ピッチで移動可能なXYステージと、該XYステージ上に載設された、サンプル装着部を有する回転ステージとを備えると共に、上記カメラの視野をXYステージに対して直交調整する機能と、該直交調整後のカメラの視野に対してサンプル装着部にセットした現物を直交調整する機構とを備え、直交調整後の現物のパターンを、上記カメラにより視野単位で撮り込み、その入力画像データをベクタデータに変換し、該ベクタデータにX方向又はY方向に送った所定ピッチに当るオフセットを加算して、前回撮り込み画像のベクタデータと合成する作業を、撮り込み領域全体について実行して現物パターンに対応するCADデータを作成する機能と、作成した現物パターン対応CADデータと、設計パターン対応CADデータとをCAD装置上で重ね合せると共に、各データに基づいて表示された画面上の少なくとも一方のパターンをX方向又はY方向に移動させて両パターンを互いに位置合せする機能と、を備えていることを特徴とする現物照合機能を備えたCADシステム。

IPC (3)：

G06F 17/50 , G01B 11/24 , G06T 7/00

FI (2)：

G06F 15/60 666 C , G06F 15/62 400

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

回路パターンの検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-075285 Applicant：新日本製鐵株式会社
特開平3-081602
特開平4-213852

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