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J-GLOBAL ID：200903076697670060

グリーンシートの製造方法及びその装置並びにグリーンシートの欠陥検出方法及びその装置

Inventor： 野本 峰生 ,  二宮 隆典 ,  松川 清永 ,  美尾 恵己
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993150126
Publication number (International publication number)：1995015111
Application date： Jun. 22, 1993
Publication date： Jan. 17, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】キャスティング後のグリーンシートの両面の表面欠陥とグリーンシート内部の欠陥を検出してグリーンシートの不良部分あるいは不良シートを確実に排除し、良品グリーンシートのみに回路パターンを印刷して印刷にじみによるパターンショート欠陥や積層不良を生じさせないグリーンシートを得ることにある。【構成】キャスティングされたグリーンシート1を光学検査装置7でグリーンシート1bの表面1cとグリーンシート1bの内部1dを検査する。次に反転装置8でグリーンシート1bを反転し、光学検査装置9で表面1cの反対側の表面1eとグリーンシート1bの内部1dを検査する。ここで不良品を排除し、良品グリーンシート1fのみにパターン印刷機10、11でパターンを印刷してパターンにじみ不良やパターンショートを生じさせないグリーンシートの製造方法である。

Claim (excerpt)：

キャスティングされたグリーンシートの表面および裏面の光学画像を検出して該検出光学画像から凹凸欠陥および汚れ欠陥を検出し、該検出により凹凸欠陥および汚れ欠陥の検出されない良品グリーンシートにパタ-ンを印刷してパタ-ンにじみ不良やパターンショートを生じさせないでセラミック基板用グリーンシートを製造することを特徴とするグリーンシートの製造方法。

IPC (4)：

H05K 3/12 ,  G01J 1/04 ,  G01N 21/88 ,  H05K 3/46

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-216904
  
• 特開昭63-140946
  
• 特開平2-068667