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J-GLOBAL ID：200903076719614495

液晶表示装置及びその製造方法

Inventor： 神野 優志 ,  山田 努
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社
Agent (1)： 西野 卓嗣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993028154
Publication number (International publication number)：1994242467
Application date： Feb. 17, 1993
Publication date： Sep. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本願は、画素電極の端が層間絶縁膜を介して、ドレインライン上にある構造をもつ液晶表示用薄膜トランジスタ基板において、画素電極とドレインラインとの重畳部において生じる短絡や寄生容量を減少させ、歩留の向上とクロストークの防止をはかるものである。【構成】 ドレイン電極(19)およびドレインライン(20)の全表面に陽極酸化膜(23)が被覆された二層絶縁膜構造である。

Claim (excerpt)：

透明な絶縁性基板上に設けられた複数のゲートラインと、この複数のゲートラインに直交して設けられた複数のドレインラインと、前記ゲートラインと前記ドレインラインとの交点に設けられたソース電極、ドレイン電極、ゲート電極及び非単結晶シリコン膜より成る薄膜トランジスタと、前記ゲートラインと前記ドレインラインに囲まれた領域に設けられた画素電極とを少なくとも有する液晶表示装置において、前記ドレイン電極および前記ドレインラインは金属材料により成り、このドレイン電極およびドレインラインの表面が自己酸化膜により被覆されており、更に、この自己酸化膜を少なくとも覆う層間絶縁膜が設けられ、これを介して前記画素電極が前記ドレインライン上にまで延在されていることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (4)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 29/784

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-167437
  
• 特開平4-335617
  
• 特開平1-274116