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J-GLOBAL ID：200903076736490562

顕微鏡及びその焦点設定方法

Inventor： 浮草 寛 ,  立川 茂
Applicant, Patent owner： 石川島播磨重工業株式会社 ,  石川島システムテクノロジー株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995344085
Publication number (International publication number)：1997184706
Application date： Dec. 28, 1995
Publication date： Jul. 15, 1997
Summary：

【要約】【課題】 計測対象物のガラス層の材質の違いによる計測精度の低下を押さえ、周囲温度の変化に対して安定した計測を行う。【解決手段】 計測対象物のガラス層の厚さに応じて厚みが設定される光透過層を介して入射光をガラス層の下端面に照射し、反射光の強度を光検出器で検出して下端面上の対象部の寸法を計測する顕微鏡において、計測対象物を挟んで対物レンズと対向配置されて対物レンズに対する光学的な位置が予め計測され下端面に焦点設定入射光を照射する焦点設定用対物レンズと、焦点設定反射光の強度を検出する焦点設定用光検出器と、焦点設定時に計測対象物に焦点設定入射光を照射させ、計測時に計測対象物に入射光を照射させる光切換手段とを具備し、焦点設定入射光の強度を光検出器及び焦点設定用光検出器で検出して対物レンズの焦点位置及び光透過層の厚さを設定する。

Claim (excerpt)：

計測対象物のガラス層の厚さに応じて厚みが設定される光透過層を介して計測光を対物レンズによってガラス層の下端面に集光して照射するとともに、計測対象物からの反射光の強度を対物レンズを介して光検出器によって検出することにより、下端面上に形成された対象部の寸法を計測する顕微鏡において、計測対象物を挟んで前記対物レンズと同一光軸上に対向配置されて対物レンズに対する光学的な位置関係が予め計測されるとともに、前記下端面に焦点設定入射光を集光して照射する焦点設定用対物レンズと、前記下端面からの焦点設定反射光の強度を前記焦点設定用対物レンズを介して検出する焦点設定用光検出器と、前記対物レンズの焦点設定時には前記焦点設定用対物レンズに焦点設定入射光のみを照射させ、計測時には前記対物レンズに入射光のみを照射させる光切換手段とを具備し、焦点設定入射光の強度を前記光検出器及び焦点設定用光検出器によって検出することにより光透過層の厚さが調節されて対物レンズの焦点位置が設定されることを特徴とする顕微鏡。

IPC (4)：

G01B 9/04 ,  G01B 11/02 ,  G02B 7/00 ,  G02B 21/00

FI (4)：

G01B 9/04 ,  G01B 11/02 Z ,  G02B 7/00 A ,  G02B 21/00