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J-GLOBAL ID:200903076738755261

表面処理方法及びその装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小島 隆司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992097072
Publication number (International publication number):1993131132
Application date: Mar. 24, 1992
Publication date: May. 28, 1993
Summary:
【要約】【構成】 筒状電極3と、該筒状電極3の内部に配置される対極7と、これら両電極間に電圧を印加して大気圧グロープラズマを発生させるための電源11とを具備した表面処理装置を用い、前記筒状電極内部に大気圧グロープラズマを形成させると共に、該プラズマ領域に被処理物4を配置し、所用のガス存在下において大気圧中で電極間に電圧を印加してグロープラズマを発生させ、大気圧グロープラズマにより被処理物4の表面処理を行う。【効果】 本発明によれば、大気圧グロープラズマを筒状電極の内側に発生させることにより、特に棒状、管状、繊維状等の軸対称基材表面に均一にしかも効率よく表面処理を施すことができ、長尺物の連続表面処理も極めて容易であり、また、大気圧程度の圧力下での処理のため、水分やガス可塑剤などを多く含む基材の表面処理にも良好に適用し得ると共に、処理中にほとんど発熱がないので低融点物質からなる基材にも良好に適用し得る。
Claim (excerpt):
所用のガス存在下において大気圧中で電極間に電圧を印加してグロープラズマを発生させ、被処理物表面を大気圧グロープラズマ法により処理する表面処理方法において、前記電極の一方を筒状電極とし、他方の電極を該筒状電極の内部に配置して、前記筒状電極の内部に大気圧グロープラズマを形成させると共に、該プラズマ領域に被処理物を配置して表面処理を行うことを特徴とする表面処理方法。
IPC (5):
B01J 19/08 ,  C08J 7/00 306 ,  H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  D06M 10/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 特開平2-015171
  • 特開昭56-121631
  • 特開昭60-024376
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