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J-GLOBAL ID：200903076764640111

液晶表示パネル及びその製造方法

Inventor： 湯田坂 一夫
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 山田 稔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991218584
Publication number (International publication number)：1993053143
Application date： Aug. 29, 1991
Publication date： Mar. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】 アニール工程にRTAを採用することによって、生産性および表示の品質を向上可能な液晶表示パネルおよびその製造方法を実現すること。【構成】 ガラス基板9の表面上には、RTA用多結晶シリコン層41が光吸収層として設けられている。その表面側にシリコン酸化膜42を介して多結晶シリコン層10が形成されており、ゲート電極5をマスクとして導入されたリンによってソース領域4およびドレイン領域7が形成されている。リンの導入後の活性化などのためのアニールは、層間絶縁膜13の表面側からの光エネルギーの照射(RTA)によって行われる。この光エネルギーをRTA用多結晶シリコン層41が吸収することによって、多結晶シリコン層10の温度が高められる。

Claim (excerpt)：

マトリックスアレイが形成された透明基板の表面側には、前記マトリックスアレイに加えて、その所定領域に、RTA用ランプから照射される光エネルギーを吸収可能な光吸収層を備えることを特徴とする液晶表示パネル。

IPC (3)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 27/12 ,  H01L 29/784

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭58-004180
  
• 特開昭63-011989
  
• 特開昭63-038231
  
• 特開昭64-065509