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J-GLOBAL ID：200903076769115589
プロ-ブ及びプロ-ブの製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993343047
Publication number (International publication number)：1995167867
Application date： Dec. 15, 1993
Publication date： Jul. 04, 1995
Summary：
【要約】【目的】 近接場光学顕微鏡等に応用した場合に、顕微鏡観察等における分解能の向上が可能なプローブ及びその製造方法を提供すること。【構成】 試料からの検査光を検出部に導く探査部が、前記検出部に連通する孔を備えたプローブの探査部を製造する方法であって、管状部材の少なくとも一部を加熱する加熱工程と、管状部材を軸方向に延伸させて切断する延伸工程と、を備えているもの。試料からの検査光を探査する探査部と、ここで探査した検査光を検出する検出部とからなり、前記探査部が、前記検出部に連通する孔を備え、少なくとも前記連通孔の内壁面が光反射部材で構成されているプローブ。
Claim (excerpt)：
試料からの検査光を検出部に導く探査部が、前記検出部に連通する孔を備えたプローブの探査部を製造する方法であって、管状部材の少なくとも一部を加熱する加熱工程と、管状部材を軸方向に延伸させて切断する延伸工程と、を備えていることを特徴とするプローブの製造方法。
IPC (3)：
G01N 37/00
, G01N 21/27
, G02B 6/00
