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J-GLOBAL ID：200903076772665603

反応性イオンエッチング装置における供試体の汚染防止装置

Inventor： 吉田 直樹
Applicant, Patent owner： 日本サイエンティフィック株式会社
Agent (1)： 木内 光春
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992274557
Publication number (International publication number)：1994128763
Application date： Oct. 13, 1992
Publication date： May. 10, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 形状,大きさの異なる多種多様な供試体に対して柔軟に対応できると共に空気の流通性を良好にした反応性イオンエッチング装置における供試体の汚染防止装置を提供する。【構成】 下部電極1上に供試体Sを載置すると共に供試体Sの上方に上部電極3を設け、この上部電極3と前記下部電極1との間で反応性イオンを発生させることにより、前記供試体Sのエッチング部にエッチング処理を行う反応性イオンエッチング装置であって、前記下部電極1上に載置された供試体Sを囲繞すべく、外周に適宜な間隔で複数の脚5Aを、かつほぼ中央部に開口部5Bを備えた電極カバー5を着脱可能に設け、この電極カバー5の開口部5Bの内側下面で前記供試体Sのエッチング部SEを押えると共に、電極カバー5の開口部5Bに前記供試体Sのエッチング部SEに対応した部分に開口部7Aを備えたマスク7を前記供試体Sを押えるべく着脱可能に装着してなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

下部電極上に供試体を載置すると共に供試体の上方に上部電極を設け、この上部電極と前記下部電極との間で反応性イオンを発生させることにより、前記供試体のエッチング部にエッチング処理を行う反応性イオンエッチング装置であって、前記下部電極上に載置された供試体を囲繞すべく、外周に適宜な間隔で複数の脚を、かつほぼ中央部に開口部を備えた電極カバーを着脱可能に設け、この電極カバーの開口部の内側下面で前記供試体のエッチング部を押えると共に、電極カバーの開口部に前記供試体のエッチング部に対応した部分に開口部を備えたマスクを前記供試体を押えるべく着脱可能に装着してなることを特徴とする反応性イオンエッチング装置における供試体の汚染防止装置。

IPC (2)：

C23F 4/00 ,  H01L 21/302