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J-GLOBAL ID:200903076788435179

バイモルフ型圧電アクチュエータ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 梅田 勝
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992249718
Publication number (International publication number):1994104503
Application date: Sep. 18, 1992
Publication date: Apr. 15, 1994
Summary:
【要約】【構成】 長手方向に片持梁、幅方向に両持梁で支持されるバイモルフ型圧電アクチュエータにおいて、幅方向の曲げ剛性が長手方向の曲げ剛性よりも高くなるように図1のような形状の中間電極もしくは補強材を用いていることを特徴とする。【効果】 バイモルフ型圧電アクチュエータの2次共振モードが1次共振モードに対して十分高くすることができ、閉ループ位置制御を行うときに、安定な制御系を構成することができる。
Claim (excerpt):
長手方向に片持梁、幅方向に両持梁で支持される圧電アクチュエータにおいて、幅方向の曲げ剛性が長手方向の曲げ剛性よりも高くなるように構成されていることを特徴とするバイモルフ型圧電アクチュエータ。
IPC (2):
H01L 41/09 ,  G11B 5/592

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