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J-GLOBAL ID：200903076906829560
複合構造物作製方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
小山 有
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002077991
Publication number (International publication number)：2003213451
Application date： Mar. 20, 2002
Publication date： Jul. 30, 2003
Summary：
【要約】【課題】 微粒子を含むエアロゾルを基材に高速で吹き付けて複合構造物を作成するにあたり、長時間安定して生産性よく複合構造物を作製する方法と装置を提供する。【解決手段】 PZT微粒子を内臓したエアロゾル発生器103内に窒素ガスボンベ101より搬送管102を通じて窒素ガスを導入し、エアロゾル発生器103を作動させてPZT微粒子を含むエアロゾルを発生させ、このエアロゾルを搬送管102を通じてガス加熱装置104に導入し、更にエアロゾルをガス加熱装置104内で所定の温度に加熱し、保温機能付き搬送管105を介して構造物作製室106内に設置されたノズル107から基材109に向けて高速で微粒子ビームとして噴射させると同時に基材109をXYステージ111によって3分間揺動させて10mm×3mmの面積を有する複合構造物を形成する。また、微粒子ビームの温度は熱電対108で検知する。
Claim (excerpt)：
脆性材料の微粒子をガス中に分散させたエアロゾルをノズル先端から基材に高速で吹き付けて基材上に脆性材料微粒子からなる構造物を形成する複合構造物を作製方法であって、前記ノズル先端から噴射されるエアロゾルの温度を室温より高く制御することを特徴とする複合構造物の作製方法。
IPC (2)：
FI (2)：
C23C 24/08 C
, C23C 24/04
4K044AA03
, 4K044AA06
, 4K044AA11
, 4K044AA12
, 4K044AA16
, 4K044BA01
, 4K044BA11
, 4K044BA12
, 4K044BA21
, 4K044BB01
, 4K044CA23
, 4K044CA24
