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J-GLOBAL ID：200903076929839791

ウエーハの製造方法

Inventor： 岩松 誠一
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991182131
Publication number (International publication number)：1993029287
Application date： Jul. 23, 1991
Publication date： Feb. 05, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 透明なガラス板上に単結晶シリコン膜を島状に形成し、TFTアクテイブマトリックス液晶表示体基板への応用を計る。【構成】 単結晶シリコンウエーハにストッパーを形成し、ガラス板を貼り付けてシリコンを機械化学研磨法で鏡面研磨し、透明なガラス板上に単結晶シリコン膜6を島状に形成する。

Claim (excerpt)：

単結晶シリコンウエーハの一主面に、シリコンに比し研磨され難いガラス材料から成るストッパーを埋め込んで形成する事を特徴とするウエーハの製造方法。

IPC (4)：

H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304 ,  H01L 27/12 ,  H01L 29/784