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J-GLOBAL ID：200903076934309300

弾性表面波装置の製造方法

Inventor： 伊藤 幹 ,  加賀井 恵美 ,  船見 雅之 ,  大塚 一弘 ,  勝田 洋彦
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995339769
Publication number (International publication number)：1997181548
Application date： Dec. 26, 1995
Publication date： Jul. 11, 1997
Summary：

【要約】【課題】製造効率を高め、低コストかつ高信頼性を達成した弾性表面波装置の製造方法を提供する【解決手段】順次下記A〜Dからなる工程を具備した弾性表面波装置の製造方法。A:LBO基板の一方主面上に絶縁膜2を被着させる。 B:LBO基板の他方主面上にフォトリソグラフィ法およびリフトオフ法によって電極パターン3を形成する。 C:LBO基板の一方主面上に粘着テープ4を貼る。 D:粘着テープ4が貼られたLBO基板に対して、他方主面側よりダイシングをおこなう。

Claim (excerpt)：

順次下記A〜Dからなる工程を具備したことを特徴とする弾性表面波装置の製造方法。A:四ホウ酸リチウム基板の一方主面上に薄膜形成手段によって絶縁膜を被着させる。B:四ホウ酸リチウム基板の他方主面上にフォトリソグラフィ法およびリフトオフ法によって電気信号を弾性表面波に変換する電極パターンを形成する。C:四ホウ酸リチウム基板の一方主面上に粘着テープを貼る。D:粘着テープが貼られた四ホウ酸リチウム基板に対して、他方主面側よりダイシングをおこなう。

IPC (2)：

H03H 3/08 ,  H01L 41/22

FI (2)：

H03H 3/08 ,  H01L 41/22 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭63-178615
  
• 特開昭63-121306