超精密加工用スラリー及び超精密加工用ペースト

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山田靖彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991360417
Publication number (International publication number)：1993156239
Application date： Dec. 06, 1991
Publication date： Jun. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】粒子の分離及び沈降が非常に少なく、溶液中またはペースト状基剤中に長時間粒子を浮遊または分散させることができ、数ナノメータまたはそれ以下の超精密ラッピング加工の可能な超精密加工用スラリー及び超精密加工用ペーストを提供する。【構成】粒径が100オングストローム以下の丸味を帯びた形状のダイヤモンド粒子クラスターを純水等の水性溶液またはオリーブオイル等の油性溶液に分散させた超精密加工用スラリーまたはエチレングリコール等のペースト状基剤に分散させた超精密加工用ペーストにある。

Claim (excerpt)：

粒径が100オングストローム以下の丸味を帯びた形状のダイヤモンド粒子クラスターを水性または油性溶液に分散させてなる超精密加工用スラリー。

IPC (4)：

C09K 3/14 , B22F 1/00 , B24B 37/00 , C01B 31/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (14)

特表平2-503095
特開平4-224139
特開平4-362397

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