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J-GLOBAL ID：200903076957440560
セラミックヒータ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998150381
Publication number (International publication number)：1999339939
Application date： May. 29, 1998
Publication date： Dec. 10, 1999
Summary：
【要約】【課題】筒状支持体6を備えてなるセラミックヒータ1において、載置面3の温度分布を均一化できるとともに、20°C/min以上の急速昇温が可能なセラミックヒータ1を提供する。【解決手段】略同心円状をした発熱パターンQを有する抵抗発熱体4を埋設してなるセラミック体2の上面を被加熱物Wの載置面3とし、上記セラミック体2の下面にセラミックスからな筒状支持体6を接合してなるセラミックヒータ1において、上記発熱パターンQのうち筒状支持体6より内側に位置する領域Q1の面積をS1、該領域Q1における抵抗発熱体4aの抵抗値をR1とし、上記発熱パターンQのうち筒状支持体6より外側に位置する領域Q2の面積をS2、該領域Q2における抵抗発熱体4bの抵抗値をR2とした時、R1/S1をR2/S2に対して3〜60%の範囲で大きくする。
Claim (excerpt)：
略同心円状又は略渦巻き状をした発熱パターンを有する抵抗発熱体を埋設してなるセラミック体の上面を被加熱物の載置面とし、上記セラミック体の下面にセラミックスからなる筒状支持体を接合してなるセラミックヒータにおいて、上記発熱パターンのうち筒状支持体より内側に位置する領域の面積をS1、該筒状支持体より内側に位置する領域における抵抗発熱体の抵抗値をR1とし、上記発熱パターンのうち筒状支持体より外側に位置する領域の面積をS2、該筒状支持体より外側に位置する領域における抵抗発熱体の抵抗値をR2とした時、R1/S1をR2/S2に対して3〜60%の範囲で大きくしたことを特徴とするセラミックヒータ。
IPC (3)：
H05B 3/20 328
, H01L 21/205
, H01L 21/68
H05B 3/20 328
, H01L 21/205
, H01L 21/68 N
