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J-GLOBAL ID：200903076960107170

静電チヤツク

Inventor： 加納 正明
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991160565
Publication number (International publication number)：1993013556
Application date： Jul. 01, 1991
Publication date： Jan. 22, 1993
Summary：

【要約】【構成】 この発明の静電チャック23は、静電チャック23に固定されたウエハ2を離脱する際に、上記静電チャック23に逆の電圧を印加する電圧切り替え装置と、上記ウエハ2に上記ウエハ2の電位と反対の電位にイオン化ガス(イ)を接触させるアイオナイザ-30とを有する。【効果】 ウエハの残留静電気力の除去を確実かつ迅速に行えるからウエハの離脱を容易に行うことができ、かつこのとき上記ウエハを損傷させることがないという効果がある。

Claim (excerpt)：

被処理物を静電気力によって保持する静電チャックにおいて、上記静電チャックと上記被処理物の電荷を中和する中和手段を有することを特徴とする静電チャック。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/302