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J-GLOBAL ID：200903076962228358

電子線照射装置

Inventor： 木下 忍
Applicant, Patent owner： 岩崎電気株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996053690
Publication number (International publication number)：1997222500
Application date： Feb. 19, 1996
Publication date： Aug. 26, 1997
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、電子線を酸素を含んだ雰囲気中で照射する際に発生するオゾンを分解するオゾン分解処理装置を具備することにより、装置のランニングコストの低減、装置の長寿命化が可能で、環境汚染等の恐れがない電子線照射装置を提供することを目的とする。【解決手段】 酸素と窒素を含んだ雰囲気中で被照射物に電子線を照射する電子線照射装置において、前記雰囲気中の水分量を低減させるための乾燥装置を通したガスを照射室に供給してなり、かつ照射室内で生成した排気ガス中のオゾンを分解処理する装置を具備して構成する。

Claim (excerpt)：

酸素と窒素を含んだ雰囲気中で被照射物に電子線を照射する電子線照射装置において、前記雰囲気中の水分量を低減させるための乾燥装置を通したガスを照射室に供給してなり、かつ照射室内で生成した排気ガス中のオゾンを分解処理する装置を具備してなる電子線照射装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 電子線照射装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-187191   Applicant：岩崎電気株式会社
• オゾン製造方法及びその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-327987   Applicant：株式会社石森製作所
• 特開昭50-077799