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J-GLOBAL ID：200903076965056779

顕微鏡観察装置

Inventor： 山内 良彦 ,  大出 孝博 ,  内山 康 ,  粟村 大吉
Applicant, Patent owner： レーザーテツク株式会社
Agent (1)： 杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991201174
Publication number (International publication number)：1993027178
Application date： Jul. 17, 1991
Publication date： Feb. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】 任意の2次元方向における解像度が高いとともに寸法再現性が高い2次元画像を実時間で得ることができる顕微鏡観察装置を提供するものである。【構成】 レーザ光源1からのレーザビームを音響光学偏向素子3によって主走査方向に高速で偏向した後、第1の振動ミラー8によって副走査方向に低速で偏向して試料13上に照射し、試料からの反射光を再び第1の振動ミラーに照射して副走査方向の偏向を相殺した後、主走査方向に延在するスリット19上に照射し、このスリットを透過した光を第2の振動ミラー22に照射して再度副走査方向に偏向してCCD2次元撮像素子24に入射させる。レーザ光源、試料上の観察点、スリットおよびCCD2次元撮像素子が共役な結像関係となる共焦点光学系を構成するように配置する。

Claim (excerpt)：

走査光を発生する点光源と、この点光源から放射される光を主走査方向に高速で偏向する音響光学偏向素子を有する高速偏向手段と、この高速偏向手段から射出される光を前記主走査方向と直交する副走査方向に低速度で偏向する第1の低速偏向手段と、この第1の低速偏向手段から射出される光を試料の観察点に照射する対物レンズ系と、試料からの反射光、透過光または蛍光を、その副走査方向の偏向を打ち消すように副走査方向に偏向する第2の低速偏向手段と、この第2の低速偏向手段から射出される光を受ける空間フィルタと、この空間フィルタを透過した光を、副走査方向に偏向する第3の低速偏向手段とを具え、前記点光源、試料上の観察点および空間フィルタを、これらが全て共役な結像関係となる共焦点光学系を構成するように配置したことを特徴とする顕微鏡観察装置。