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J-GLOBAL ID：200903076972065813

液相表面処理装置およびこれを用いた被処理体の質量変化計測方法

Inventor： 阿萬 康知 ,  渡部 六郎 ,  柴田 清人 ,  大窪 克之 ,  三浦 裕司
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996303750
Publication number (International publication number)：1998132646
Application date： Oct. 29, 1996
Publication date： May. 22, 1998
Summary：

【要約】【課題】 被処理体Wの質量変化を伴うメッキ等の液相表面処理において、この質量変化をリアルタイムかつ正確に計測可能な装置と方法を提供する。【解決手段】 被処理体Wに対する表面処理と同じ処理がなされる質量変化検出面を有する第1の水晶振動子2と、同じ振動特性を持つが該表面処理に対して不活性化された参照面を有する第2の水晶振動子3とを薬液L中に同時に浸漬する。表面処理の進行に伴って第1の水晶振動子2が示す振動数の変化量Δfは、質量増加に起因する変化量ΔfM と液相パラメータの変動に起因する変化量ΔfLの和(ΔfM +ΔfL )である。一方、第2の水晶振動子3の示す振動数変化量は、ΔfL のみである。したがって、前者から後者を差し引くような情報処理を演算処理装置6に行わせれば、ΔfM のみを正確に知ることができる。

Claim (excerpt)：

被処理体の表面処理に用いられる薬液を満たした処理槽と、少なくとも一方の主面が、前記薬液中への浸漬時に前記被処理体に対する表面処理と同じ表面処理が行われる質量変化検出面とされた第1の水晶振動子と、少なくとも一方の主面が、前記薬液による表面処理に対して不活性な参照面とされた第2の水晶振動子と、前記表面処理の進行に伴う第1の水晶振動子と前記第2の水晶振動子との振動数の変化をそれぞれ計測する振動数計測手段と、前記振動数計測手段の計測結果にもとづいて前記被処理体に対する前記表面処理の進行状況を判断する演算処理手段と、を備えた液相表面処理装置。

IPC (6)：

G01G 17/04 ,  C23C 18/31 ,  C25D 21/12 ,  G01B 17/00 ,  G01G 3/16 ,  G01N 5/02

FI (6)：

G01G 17/04 D ,  C23C 18/31 D ,  C25D 21/12 C ,  G01B 17/00 Z ,  G01G 3/16 ,  G01N 5/02 A