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J-GLOBAL ID：200903076974677719

弾性表面波装置

Inventor： 保坂 憲生 ,  湯原 章綱 ,  大貫 秀男 ,  渡辺 一志
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 富田 和子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991238282
Publication number (International publication number)：1993083076
Application date： Sep. 18, 1991
Publication date： Apr. 02, 1993
Summary：

【要約】【目的】1GHz以上の準マイクロ波帯の信号処理に利用される弾性表面波装置の伝搬損失を低減する。【構成】36°Y-X LiTaO3基板を用い、電極および伝搬路を膜厚100nmのアルミニウム薄膜により構成した多電極型弾性表面波装置における、各入・出力電極(3、4)間の距離を、該入・出力電極で応答する信号の中心周波数における弾性表面波の波長の25倍の長さ以下の距離とする。【効果】準マイクロ波帯の弾性表面波装置の損失を、従来用いられてきた、より低周波帯の弾性表面波装置と同程度とすることができる。

Claim (excerpt)：

中心周波数が1GHz以上の弾性表面波装置であって、36°Y-X LiTaO3圧電単結晶基板と、当該圧電単結晶基板上に金属薄膜によって形成された、入力すだれ状電極と出力すだれ状電極と前記入力すだれ状電極と出力すだれ状電極間の疑似表面波伝搬路とを有し、かつ、前記入力すだれ状電極と出力すだれ状電極の中心間の弾性表面波の伝搬方向に計った距離が、前記中心周波数における弾性表面波の波長の25倍程度以下の長さの距離であることを特徴とする弾性表面波装置。

IPC (2)：

H03H 9/145 ,  H03H 9/64